（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201811170578.6 （22）申请日 2018.10.09
（71）申请人 江苏英锐半导体有限公司 房
（72）发明人 王昌华
（74）专利代理机构 常州市权航专利代理有限公司
代理人 袁兴隆
地址 224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂
（10）申请公布号 CN109116114A
（43）申请公布日 2019.01.01
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种用于晶圆流片的电阻率检测装置
（57）摘要
本发明涉及晶圆流片生产测试附属装置的
技术领域，特别是涉及一种用于晶圆流片的电阻率检测装置，其可以提高晶圆流片在检测台上的放置稳定性，防止在使用电阻率检测探头对晶圆流片进行检测的过程中晶圆流片发生滑动，减少影响检测结果的外界因素，提高使用可靠性；并且无需人工手拿电阻率检测探头对晶圆流片进行检测，降低人为因素，提高检测精度，同时减轻
人力，操作方便，提高实用性；包括检测台、左弧形夹板、右弧形夹板、上齿条、下齿条、左连接杆、右连接板、支撑滑柱、第一调节轴、棘轮、上滑轨、下滑轨、挡板、支撑弹簧、限位棘爪、左支撑板、调节丝杠、固定挡板、限位滑柱、调节块、安装板、第一锥型齿轮、第二锥型齿轮和第二调节轴。
法律状态
法律状态公告日2019-01-01 2019-01-01 2019-01-25
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
一种用于晶圆流片的电阻率检测装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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